2012-04-23來源:居無憂瀏覽量:
牛尾電機正在開發的曝光用LED光源,在“SemiconJapan2011”(2011年12月7~9日,幕張Messe會展中心)上參考展出
牛尾電機正在開發的曝光用LED光源,在“Semicon Japan 2011”(2011年12月7~9日,幕張Messe會展中心)上參考展出。有望取代之前使用的汞(Hg)燈。該公司表示,準備開拓能發揮LED光源特點的應用。
據牛尾電機介紹,展示的曝光用LED光源,其本身的開發已經完成,目前正在探索用戶的使用方法。該LED光源可輸出相當于汞燈g線(波長為436mm)、h線(波長為405mm)和i線(波長為365mm)波長的光。目前的光強度相當于輸出功率750W的汞燈。該LED光源的特點是,可改變汞燈中固定的g線、h線和i線的光強度比。另外,雖然與之前使用的汞燈相比初期成本較高,但由于使用壽命長,所以可降低運行成本(Running Cost)。此外,其發熱較低,可實現節能省空間化。牛尾電機表示,將開拓能發揮這些特點的應用。